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簡要描述：■ 6?位測量分辨率■ 5.0寸電容式觸摸屏■ 電流分辨率達(dá)0.01fA(10-17A)■ 測量電阻高達(dá)1000PΩ(1018Ω)■ 內(nèi)置電壓源：±1000V，分辨率：700μV■ 支持電壓測量達(dá)20V■ 低至2nC量程的電荷測量■ 溫度和濕度測量■ 四種測量模式：高阻儀、電壓表、電流表、靜電計(jì)■ 獨(dú)立的電流和電壓測量■ 輸入阻抗200TΩ■ 電流量程：2pA-20mA，電流分辨率達(dá)0.01fA(10-17A)■ 電流量程內(nèi)的內(nèi)阻壓降＜20μV■ 時(shí)域視圖，捕獲瞬態(tài)信號(hào)效應(yīng)和選擇測量數(shù)據(jù)■ 支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄■ 配置專用屏蔽測試盒
更新時(shí)間：2025-07-06
產(chǎn)品型號(hào)：
所屬分類：高阻計(jì)/飛安計(jì)/皮安計(jì)
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TH2690系列飛安表/皮安表/靜電計(jì)/高阻計(jì)提供了行業(yè)的測量功能。飛安表/靜電計(jì)具有0.01fA(10-17A)最小電流分辨率，可滿足大部分場景的微弱電流測量需求。高阻計(jì)內(nèi)置的1000V電壓源支持測量高達(dá)1000PΩ(1018Ω)的電阻。
針對(duì)不同的測試對(duì)象和測試環(huán)境，同惠還提供各種適配的附件。
與傳統(tǒng)的皮安表和高阻計(jì)不同，TH2690系列采用5吋彩色LCD電容觸摸屏，使操作更直觀便捷。 TH2690系列還提供多種視圖模式以便用戶觀察數(shù)據(jù)。除數(shù)字格式外，測量數(shù)據(jù)還可以轉(zhuǎn)換為直方圖及趨勢圖的形式，使用戶能即時(shí)查看測量數(shù)據(jù)的分布規(guī)律或變化趨勢。
TH2690系列提供六種型號(hào)，用戶可以根據(jù)實(shí)際測試需求靈活地選購適當(dāng)?shù)膬x器。
快速選型 | TH2690 | TH2690A | TH2690H | TH2691 | TH2691A | TH2691H |
測量分辨 | 6?位 | |||||
電流分辨率 | 0.1fA | 0.01pA | 0.01fA | 0.1fA | 0.01pA | 0.01fA |
電阻 | 100PΩ | 1PΩ | 1000PΩ | - | - | - |
電荷測量 | 1fC-2μC | - | 1fC-2μC | - | - | - |
溫濕度測量 | √ | - | √ | - | - | - |
電壓源 | ±1000V | - | - | - | ||
電壓分辨率 | 1μV | - | - | - | ||
材料特征測試
半導(dǎo)體、納米材料、聚合物材料、介質(zhì)材料、電化學(xué)材料、鐵電材料、石墨烯、陶瓷、生物材料、橡膠、薄膜、金屬、有機(jī)材料等
電子元器件泄漏電流和絕緣電阻測試
電容器、電阻器、二極管、晶體管、傳感器、TFT和CNT等類型、光電器件、納米器件、太陽能電池、開關(guān)、繼電器等
電子/非電子系統(tǒng)
離子束、電子束、傳感系統(tǒng)、粒子測量、嵌入式精密儀器等
半導(dǎo)體和其它器件I-V特性測量
體電阻/表面電阻率測量
功能特點(diǎn)
1.0.01fA的電流測量分辨率
在研究材料特性或判定器件性能時(shí)，經(jīng)常需要測量fA/PΩ等極限電流、電阻，而傳統(tǒng)的數(shù)字萬用表（DMM）無法達(dá)到，TH2690系列飛安表/靜電計(jì)提供了行業(yè)的0.01fA電流測量分辨率及1000PΩ電阻測量，實(shí)現(xiàn)了材料測量，可滿足現(xiàn)在及將來的測量需求。
2.10,000讀數(shù)/秒的數(shù)據(jù)讀取速率
測量速度一般由積分設(shè)置中的積分周期決定，積分周期通常為工頻周期(PLC)的整數(shù)倍。在能夠提供充足的平均次數(shù)來避免工頻噪聲對(duì)測量的影響的前提下，積分周期顯然越短越好。
由于傳統(tǒng)儀器的讀取速率相對(duì)緩慢，無法捕獲到快速瞬態(tài)信號(hào)。TH2690系列數(shù)據(jù)讀取速率可達(dá)10,000讀數(shù)/秒，可捕獲到更精細(xì)的被測器件響應(yīng)。
3.統(tǒng)計(jì)圖顯示
TH2690系列可以將測試結(jié)果在主界面以圖形方式實(shí)時(shí)地顯示，展示被測件（DUT）的動(dòng)態(tài)特性。圖形分曲線圖和直方圖兩種。
下圖為設(shè)置界面
1） 曲線圖(時(shí)基視圖)顯示
TH2690可以便捷地繪制多種曲線圖，包括I-t、V-t、R-t、Q-t和I-R等(特定的圖形顯示功能取決于所使用的產(chǎn)品型號(hào))。進(jìn)行敏感測量時(shí)，這種強(qiáng)大且全面的圖形顯示能力可使您更容易地獲取有價(jià)值的數(shù)據(jù)。
2） 直方圖顯示
任何測量環(huán)境中都會(huì)存在一定的噪聲波動(dòng)，因此低電平測量數(shù)據(jù)都會(huì)帶有一定的統(tǒng)計(jì)不確定性。傳統(tǒng)的處理方法是在測量結(jié)束后繪制直方圖對(duì)測量數(shù)據(jù)進(jìn)行評(píng)估(通常在電腦上)。然而，如果您需要執(zhí)行多次測量和測試設(shè)置調(diào)試周期，這個(gè)過程將會(huì)變得冗長。
TH2690系列具有實(shí)時(shí)的、自動(dòng)標(biāo)尺的直方圖顯示功能，使您能及時(shí)調(diào)試測量設(shè)置而無需在測量后再進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。直方圖顯示于測量數(shù)據(jù)之下，方便您對(duì)比直方圖上的累積數(shù)據(jù)與實(shí)時(shí)測量數(shù)據(jù)。
4.掃描輸出
TH2690可以設(shè)定輸出單階梯波、雙階梯波、方波以及自定義列表輸出。點(diǎn)擊設(shè)定-源設(shè)定選項(xiàng)卡進(jìn)行設(shè)定。設(shè)定界面分別如下：
5.分選功能
TH2690可以對(duì)測試結(jié)果進(jìn)行判定分選。有分級(jí)（Grading）和分類（Sorting）兩種模式可選，最多可設(shè)置7個(gè)判定條件。設(shè)定界面如右圖：
其中分級(jí)（Grading）模式是指執(zhí)行極限判定直到遇到失敗跳出，輸出當(dāng)前失敗位，否則繼續(xù)下一個(gè)極限判定，若全部合格，則輸出個(gè)合格位。
分類（Sorting）模式是指執(zhí)行極限判定直到遇到合格跳出，輸出當(dāng)前合格位，否則繼續(xù)下一個(gè)極限判定，若全部失敗，則輸出個(gè)失敗位。
6.HANDLER接口定義
1,2,3為信號(hào)輸入腳，對(duì)應(yīng)上圖IN1，IN2，IN3?？梢愿淖冃盘?hào)定義。
4,5,6,7為信號(hào)輸出腳，對(duì)應(yīng)上圖OUT4，OUT5，OUT6，OUT7。可以改變信號(hào)輸出模式。
7.錯(cuò)誤信息
當(dāng)儀器出現(xiàn)操作失誤或儀器自檢出錯(cuò)等問題時(shí)，在儀器下方信息欄會(huì)報(bào)錯(cuò)，點(diǎn)擊工具-錯(cuò)誤信息圖標(biāo)，在此處可查看報(bào)警信息，可根據(jù)提示進(jìn)行消除錯(cuò)誤。
8.專用溫濕度探頭提供更可靠的溫濕度數(shù)據(jù)
溫度和濕度是高值電阻測量中的關(guān)鍵參數(shù)。TH2690、TH2690H高阻計(jì)提供溫濕度傳感器接口，并配置了專用的溫濕度探頭。數(shù)字溫濕度探頭可用于測定溫度和濕度，提供比熱電偶更精確的溫度數(shù)據(jù)。
9.多種附件應(yīng)對(duì)不同的測試環(huán)境和被測件
TH2690配備了多種可選附件，以適配不同的被測件，進(jìn)一步提升其測試效果。主要包括電阻率測試盒和元件測試夾具。
電阻率測試盒配備多種尺寸的電極，可以用于測量不同規(guī)格材料的面電阻率和體電阻率。
元件測試夾具配備多種測試模塊，以應(yīng)對(duì)貼片器件、軸向引線器件等多種封裝的測量
10. 電阻率測量（選件）
TH2690系列可選配TH26090選件，進(jìn)行電阻率測量。
a) 方案配置：
序號(hào) | 型號(hào) | 名稱 | 必選項(xiàng) | 備注 |
1 | TH2690 | 飛安表/靜電計(jì)/高阻計(jì)主機(jī) | R | |
2 | TH26090 | 電阻率測試盒 | R | 選件 |
3 | 備注 | TH2690固件升級(jí)至 |
b) TH26090電阻率測試盒
功能 | 說明 |
測試電壓 | 0-±1000V |
測試電極 | Φ26mm、Φ38mm、Φ50mm（標(biāo)配），共3種可選 |
測試電流 | 0-10mA |
接觸壓力 | ≤10kg |
測量參數(shù) | 表面電阻Rs、表面電阻率ρs、體電阻Rv、體電阻率ρv |
c) 體積電阻Rv、體積電阻率ρv測量
將電壓源Vs施加到上電極，流經(jīng)測試樣品的大電流為Im，隨后體積電阻Rv用公式Rv=Vs/Im計(jì)算。
從測試樣品流向保護(hù)電極的大電流和從上電極流向保護(hù)電極的表面電流都屬于泄露電流；然而這些電流都會(huì)進(jìn)入Vs的低側(cè)，不會(huì)對(duì)用于計(jì)算Rv的電流表電流(Im)的大小造成影響。
體積電阻率ρv可用公式ρv=EAR/STHxRv計(jì)算出，其中:
EAR = Effective area 有效面積
STH = Sample thickness 樣品厚度。
a) 表面電阻Rs、表面電阻率ρs測量
將電壓源Vs施加到護(hù)環(huán)電極，在測試樣品表面上的電流從保護(hù)電極流向主電極，表面電流被為Im。表面電阻Rs可用公式Rs=Vs/Im計(jì)算。
從護(hù)環(huán)流向上電極的電流是泄露電流；然而這個(gè)電流會(huì)流入Vs的低側(cè)，不會(huì)對(duì)用于計(jì)算Rv的電流表電流(Im)的大小造成影響。
表面電阻可用公式ρs=EPER/GLENxRs計(jì)算出，其中:
EPER = Effective perimeter 有效周長
GLEN = Gap length 間隔長度
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | TH2690 | TH2690A | TH2690H | TH2691 | TH2691A | TH2691H | |||||||
顯示 | |||||||||||||
顯示器 | 5.0寸電容式觸摸彩色LCD顯示器 | ||||||||||||
測量分辨率 | 6?位 | ||||||||||||
電流測量 | |||||||||||||
量程 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | |
2pA | ------ | ------ | ------ | ------ | ±(1%+5fA) | 0.01fA | ------ | ------ | ------ | ------ | ±(1%+5fA) | 0.01fA | |
20pA | ±(1%+5fA) | 0.1fA | ------ | ------ | ±(1%+5fA) | 0.1fA | ±(1%+5fA) | 0.1fA | ------ | ------ | ±(1%+5fA) | 0.1fA | |
200pA | ±(0.5%+5fA) | 0.1fA | ------ | ------ | ±(0.5%+5fA) | 0.1fA | ±(0.5%+5fA) | 0.1fA | ------ | ------ | ±(0.5%+5fA) | 0.1fA | |
2nA | ±(0.2%+50fA) | 1fA | ±(0.2%+50fA) | 1fA | ±(0.2%+50fA) | 1fA | ±(0.2%+50fA) | 1fA | ±(0.2%+50fA) | 1fA | ±(0.2%+50fA) | 1fA | |
20nA | ±(0.2%+3pA) | 10fA | ±(0.2%+3pA) | 10fA | ±(0.2%+3pA) | 10fA | ±(0.2%+3pA) | 10fA | ±(0.2%+3pA) | 10fA | ±(0.2%+3pA) | 10fA | |
200nA | ±(0.2%+5pA) | 100fA | ±(0.2%+5pA) | 100fA | ±(0.2%+5pA) | 100fA | ±(0.2%+5pA) | 100fA | ±(0.2%+5pA) | 100fA | ±(0.2%+5pA) | 100fA | |
2μA | ±(0.1%+50pA) | 1pA | ±(0.1%+50pA) | 1pA | ±(0.1%+50pA) | 1pA | ±(0.1%+50pA) | 1pA | ±(0.1%+50pA) | 1pA | ±(0.1%+50pA) | 1pA | |
20μA | ±(0.05%+500pA) | 10pA | ±(0.05%+500pA) | 10pA | ±(0.05%+500pA) | 10pA | ±(0.05%+500pA) | 10pA | ±(0.05%+500pA) | 10pA | ±(0.05%+500pA) | 10pA | |
200μA | ±(0.05%+5nA) | 100pA | ±(0.05%+5nA) | 100pA | ±(0.05%+5nA) | 100pA | ±(0.05%+5nA) | 100pA | ±(0.05%+5nA) | 100pA | ±(0.05%+5nA) | 100pA | |
2mA | ±(0.05%+50nA) | 1nA | ±(0.05%+50nA) | 1nA | ±(0.05%+50nA) | 1nA | ±(0.05%+50nA) | 1nA | ±(0.05%+50nA) | 1nA | ±(0.05%+50nA) | 1nA | |
20mA | ±(0.05%+500nA) | 10nA | ±(0.05%+500nA) | 10nA | ±(0.05%+500nA) | 10nA | ±(0.05%+500nA) | 10nA | ±(0.05%+500nA) | 10nA | ±(0.05%+500nA) | 10nA | |
電阻測量 | |||||||||||||
量程 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 | ------ | ||||||
1MΩ | ±(0.135%+1Ω) | 1Ω | ±(0.135%+1Ω) | 1Ω | ±(0.135%+1Ω) | 1Ω | ------ | ||||||
10MΩ | ±(0.135%+10Ω) | 10Ω | ±(0.135%+10Ω) | 10Ω | ±(0.135%+10Ω) | 10Ω | ------ | ||||||
100MΩ | ±(0.185%+100Ω) | 100Ω | ±(0.185%+100Ω) | 100Ω | ±(0.185%+100Ω) | 100Ω | ------ | ||||||
1GΩ | ±(0.285%+1kΩ) | 1kΩ | ±(0.285%+1kΩ) | 1kΩ | ±(0.285%+1kΩ) | 1kΩ | ------ | ||||||
10GΩ | ±(0.41%+10kΩ) | 10kΩ | ±(0.41%+10kΩ) | 10kΩ | ±(0.41%+10kΩ) | 10kΩ | ------ | ||||||
100GΩ | ±(0.41%+100kΩ) | 100kΩ | ±(0.41%+100kΩ) | 100kΩ | ±(0.41%+100kΩ) | 100kΩ | ------ | ||||||
1TΩ | ±(0.45%+1MΩ) | 1MΩ | ±(0.45%+1MΩ) | 1MΩ | ±(0.45%+1MΩ) | 1MΩ | ------ | ||||||
10TΩ | ±(0.75%+10MΩ) | 10MΩ | ------ | ------ | ±(0.75%+10MΩ) | 10MΩ | ------ | ||||||
100TΩ | ±(2.6%+100MΩ) | 100MΩ | ------ | ------ | ±(0.75%+100MΩ) | 100MΩ | ------ | ||||||
1PΩ | ------ | ------ | ------ | ------ | (2.6%+1GΩ) | 1GΩ | ------ | ||||||
量程 | 電流量程 | 電壓源 | 電流量程 | 電壓源 | 電流量程 | 電壓源 | ------ | ||||||
1MΩ | 200μA | 20V | 200μA | 20V | 200μA | 20V | ------ | ||||||
10MΩ | 20μA | 20V | 20μA | 20V | 20μA | 20V | ------ | ||||||
100MΩ | 2μA | 20V | 2μA | 20V | 2μA | 20V | ------ | ||||||
1GΩ | 200nA | 20V | 200nA | 20V | 200nA | 20V | ------ | ||||||
10GΩ | 20nA | 20V | 20nA | 20V | 20nA | 20V | ------ | ||||||
100GΩ | 2nA | 20V | 2nA | 20V | 2nA | 20V | ------ | ||||||
1TΩ | 2nA | 200V | 2nA | 200V | 2nA | 200V | ------ | ||||||
10TΩ | 200pA | 200V | ------ | ------ | 200pA | 200V | ------ | ||||||
100TΩ | 20pA | 200V | ------ | ------ | 20pA | 200V | ------ | ||||||
測量電阻 | 100PΩ | 1000TΩ | 1000PΩ | ------ | |||||||||
電壓測量（獨(dú)立輸入單元) | |||||||||||||
量程 | 精度 | 分辨率 | ------ | ||||||||||
2V | ±(0.05%+40μV) | 1μV | ------ | ||||||||||
20V | ±(0.05%+400μV) | 10μV | ------ | ||||||||||
輸入阻抗 | >200TΩ | ------ | |||||||||||
電荷測量（指標(biāo)在1s內(nèi)有效） | |||||||||||||
量程 | 精度 | 分辨率 | ------ | 精度 | 分辨率 | ------ | |||||||
2nC | ±(0.5%+50fC) | 1fC | ------ | ±(0.5%+50fC) | 1fC | ------ | |||||||
20nC | ±(0.5%+500fC) | 10fC | ------ | ±(0.5%+500fC) | 10fC | ------ | |||||||
200nC | ±(0.5%+5pC) | 100fC | ------ | ±(0.5%+5pC) | 100fC | ------ | |||||||
2μC | ±(0.5%+50pC) | 1pC | ------ | ±(0.5%+50pC) | 1pC | ------ | |||||||
電壓源 | |||||||||||||
量程 | 精度 | 分辨率 | ------ | ||||||||||
20V | ±(0.05%+2mV) | 700μV | ------ | ||||||||||
1000V | ±(0.05%+100mV) | 35mV | ------ | ||||||||||
量程 | 輸出電流 | ------ | |||||||||||
20V | ±20mA | ------ | |||||||||||
1000V | ±1mA | ------ | |||||||||||
電壓源功能 | 直流、掃描(單掃描、雙掃描、列表掃描)、ARB(方波) | ------ | |||||||||||
溫度測量范圍及精度 | |||||||||||||
-40℃-10℃ | 1℃ | ------ | |||||||||||
10℃-55℃ | 0.5℃ | ------ | |||||||||||
55℃-80℃ | 1℃ | ------ | |||||||||||
濕度測量范圍及精度 | |||||||||||||
0-20%RH | 4％ | ------ | |||||||||||
20-80％RH | 3％ | ------ | |||||||||||
80-99%RH | 4％ | ------ | |||||||||||
視圖模式 | 儀表視圖、圖形視圖、直方圖、滾動(dòng)視圖 | ||||||||||||
測試端子 | |||||||||||||
電壓輸入 | 三軸BNC | ------ | |||||||||||
電流輸入 | 三軸BNC | ||||||||||||
電壓輸出 | √ | ------ | |||||||||||
COMMON | √ | ||||||||||||
GROUND | 香蕉座 | ||||||||||||
接口 | |||||||||||||
D/A輸出 | ±2VFS | ||||||||||||
HANDLER | √ | ||||||||||||
通訊接口 | RS232、USB DEVICE、USB HOST、LAN、GPIB | ||||||||||||
傳感器輸入 | 溫濕度 | ------ | |||||||||||
互鎖輸入 | √ | ------ | |||||||||||
環(huán)境溫度與濕度 | |||||||||||||
使用溫濕度范圍 | 0°C--45°C，30%--80%，無冷凝 | ||||||||||||
存放溫濕度范圍 | -20°C--60°C，10%--90%，無冷凝 | ||||||||||||
精度保證溫濕度 | 23℃±5℃，30%-80%RH | ||||||||||||
預(yù)熱時(shí)間 | 1小時(shí) | ||||||||||||
環(huán)境溫度變化 | 自校準(zhǔn)后小于±3℃ | ||||||||||||
校準(zhǔn)周期 | 1年 | ||||||||||||
一般指標(biāo) | |||||||||||||
電源 | AC：90V-264V,50/60Hz；或DC：127V-370V | ||||||||||||
功率 | 60W | ||||||||||||
上架尺寸 | 215(W)×88(H)×412(D) | ||||||||||||
外形尺寸 | 235(W)×111(H)×440(D) | ||||||||||||
重量 | 3.5kg | ||||||||||||
| 標(biāo)配 | |||||
| 配件名稱 | 型號(hào) | ||||
| 選配 | |||||
| 配件名稱 | 型號(hào) | ||||
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